STAR-Series coater STAR6
規格 (Specification)
- 容積 (Load volume):750 L
- 冶具 (Carrousel):580x750 mm
- 加熱功率 (Heater):21.5 kW
- 鍍膜週期時間 (Cycle time) :4 hour
- 電弧源 (Arc sources):6 sets
- 控制系統 (Control system):工業電腦+可程式控制器
塗層種類 (Coating types)
- TiN、CrN、TiSiN
- TiAlN、AlTiCrN、CrAlSiN
- TiCrN、CrCN、DLC
核心技術服務
- 陰極電弧沉積系統
- 薄膜檢測分析與製程開發
- 塗層設備整廠輸出