STAR-Series coater STAR6

規格 (Specification)

• 容積 (Load volume)：750 L
• 冶具 (Carrousel)：580x750 mm
• 加熱功率 (Heater)：21.5 kW
• 鍍膜週期時間 (Cycle time) ：4 hour
• 電弧源 (Arc sources)：6 sets
• 控制系統 (Control system)：工業電腦+可程式控制器

塗層種類 (Coating types)

• TiN、CrN、TiSiN
• TiAlN、AlTiCrN、CrAlSiN
• TiCrN、CrCN、DLC

核心技術服務

• 陰極電弧沉積系統
• 薄膜檢測分析與製程開發
• 塗層設備整廠輸出