藉由沉積多種不同的材料(Ti，Al)和Si元素，由於兩者無法完全互溶，於是創造出兩種不同

的相(phase)組成，奈米晶粒結構的TiAlN或AlSiN鑲埋入非晶質結構的Si3N4本體，因此開發出結構

緻密的奈米複合鍍層。

上述設計必須經由：

1.高強度的磁場與快速穩定的電弧軌跡

2.非常高能的離化電漿

3.PL的大面積、高能率鍍層，有效提升鍍層附著性、緻密性並改善鍍層微粒

Si-Co氮化鋁鈦矽鍍層具有極高的薄膜硬度，可適用於熱處理過後的高硬度材料粗加工。

製程溫度Coating temp (℃)：500

鍍層硬度Nanohardness (GPa)：42

鍍層厚度Thickness (μm)：1~4

摩擦係數Friction coefficient： 0.45

應用溫度Max usage temp (℃) ：1100

1.可應用在加工熱處理後鋼材。

2.亦可應用各種特殊材料。

3. HRC55°以上溼式高品質加工。