Z3氮化鋁鈦矽鋯鍍層藉由沉積多種不同的材料(Ti，Cr，Al)和Si元素，由於兩者無法完全互溶，

於是創造出兩種不同的相(phase)組成，奈米晶粒結構的TiAlN或AlCrN鑲埋入非晶質結構的Si3N4本

體，因此開發出結構緻密的奈米複合鍍層。

上述設計必須經由：

1.高強度的磁場與快速穩定的電弧軌跡

2.非常高能的離化電漿

3.dxπ的大面積、高能率鍍層，有效提升鍍層附著性、緻密性並改善鍍層微粒

        Z3氮化鋁鈦矽鋯鍍層具有極高的薄膜硬度，可適用於熱處理過後的高硬度材料高品質加工。

除此之外，Z3氮化鋁鈦鋯矽鍍層具有良好的抗沾黏性及硬度，應用在不鏽鋼，鎳基合金，鈦合金

...等不易加工的材料上，具有非常好的切削效果。

製程溫度Coating temp (℃)：500

鍍層硬度Nanohardness (GPa)：35

鍍層厚度Thicknesss (μm)：2~5

摩擦係數Friction coefficient： 0.4

應用溫度Max usage temp (℃) ：1100

1.應用於不鏽鋼、鎳基合金及鈦合金等材料具有非常好的效果。

2.可用於各種特殊材料。

3.泛用性材料溼式加工。