• ICS PVD System ICS S800-Pro

ICS PVD System ICS S800-Pro

規格 (Specification)

  • 容積 (Load volume):750 L
  • 冶具 (Carrousel):580x750 mm
  • 加熱功率 (Heater):21.5 kW
  • 鍍膜週期時間 (Cycle time) :4 hour
  • 電弧源 (Arc sources):6 sets
  • 控制系統 (Control system):工業電腦+可程式控制器

塗層種類 (Coating types)

  • TiN、CrN、TiSiN
  • TiAlN、AlTiCrN、CrAlSiN
  • TiCrN、CrCN、DLC

核心技術服務

  • 陰極電弧沉積系統
  • 薄膜檢測分析與製程開發
  • 塗層設備整廠輸出